隨著製程特徵尺寸的快速縮小,擁有精密的微機電和積體電路的半導體廠商,對於生產環境之潔淨度要求也愈來愈嚴格。
我們所生產的化學過濾器可以裝置在製造業空調箱(MAU)、設備機台上、FFU空氣流動之風口或風管上,也可針對單一汙染物或複合式汙染物做吸附,並且可依照客戶需求製做客製化產品,在國內外半導體及面板製造,生物工程等等我們已累集了相當的實際使用經驗與實績。

 

化學濾網(MEDIA)特性:
✔ 可依需求進行設計以符合運轉區域,並達到90%以上長效的吸附效率
✔ 化學濾材(MEDIA)與纖維(FIBER)成穩固的3D結構
✔ FILTER深度可依需求客製化
✔ 單一的FILTER可堆疊多類型吸附功能的MEDIA
✔ MEDIA可達100%利用率,產出均勻的空氣流量
✔ 不會排放出有毒氣體、正負離子、顆粒、金屬化合物

 

化學濾網3D圖.jpg